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氯化氫

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高純氯化氫是集成電路生產中各項工藝的重要材料

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高純氯化氫是集成電路生產中各項工藝的重要材料

作者:山東言赫小編     發布時間:2015-07-13 09:49:09
    淄博言赫特種氣體公司主營“華宇同方”牌高純氯化氫,其產品性能優越,質量穩定,價格合理。在氯化氫市場占據了一席之地,也受到了廣大客服的支持與認可。
    高純氯化氫是集成電路生產中硅片蝕刻,鈍化和外延等工藝的重要材料,也可用于金屬冶煉,光導通訊和科學研究等領域。隨著大規模集成電路的發展,對氯化氫純度的要求越來越高,對其中雜質的含量要求越來越苛刻,尤其要求嚴格限制碳氫化合物和碳氧化合物的含量,以防止硅片加工過程中c的形成。國內外對于制備高純氯化氫的方法有很多。今天跟大家簡單介紹一下其中的鹽酸脫析法的工藝流程:
    鹽酸脫析法。將濃鹽酸置于脫析塔中加熱脫析制氯化氫氣體。鹽酸脫吸法制高純氯化氫廣泛應用于PVC、氯丁二烯和高純鹽酸等的生產中。此種方法生產的氯化氫氣體純度在99.9% (質量分數)以上。
    其工藝流程為:將濃鹽酸貯槽之濃酸用濃酸泵打至脫吸塔,脫吸塔下部連接再沸器,濃酸自塔頂噴淋而下,與來自再沸器的稀酸蒸氣逆流傳質傳熱,使氯化氫脫吸。所得之恒沸酸一部分補充再沸器的循環,一部分則經板式冷卻器后流入稀酸貯槽。由脫吸塔出來的含水蒸氣氯化氫氣體,進人石墨列管冷卻器用水冷卻后經過旋風分離器,分離出夾帶酸霧。然后,經過一系列的常溫、低溫干燥、吸附除水及二氧化碳,壓縮至1.2MPa,進行低溫精餾,再經低溫吸附除氮后壓縮至4.2MPa,裝瓶。
    我公司現有年產2000噸高純氯化氫生產線,連續批量生產應用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫,以及應用于醫藥中間體、農藥及精細化學品制造的2.8N(99.8%)化學級氯化氫氣體。產品性能先進,質量穩定,處于國內領先地位,達到國際先進水平。