電子級HCI氣體的國產化已是大勢所趨
近幾年來,隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展,電子氣體市場需求量明顯增長,電子級氯化氫氣體的國產化已是大勢所趨。
我國在國產化方面取得可喜進展:國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局,高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束,高純氯化氫已成功打開國內市場。
高純氨作為電子工業中氮化膜的成膜氣體,是化學氣相沉積(CVD)重要的“氮”源。
研究設計院介紹說,2010年,國產高純氨在太陽能領域發揮了巨大的作用。由于國產高氨進入市場,改變了國外氣體公司壟斷市場的局面。